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纳米级型光谱共焦位移传感器 FD15-201400

基准距离:13.8mm
测量范围:±0.7mm
分辨率:4nm
光斑直径:13μm
测量角度:±20°镜面
外径尺寸:15mm

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纳米级型光谱共焦位移传感器 FD15-320640

基准距离:6mm
测量范围:±0.32mm
分辨率:2nm
光斑直径:3.4μm
测量角度:±32°镜面
外径尺寸:15mm

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