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大角度小光斑型光谱共焦位移传感器 FD40-176000

基准距离:45mm
测量范围:±3mm
分辨率:12nm
光斑直径:20μm
测量角度:±17°镜面
外径尺寸:40mm

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大角度小光斑型光谱共焦位移传感器 FD40-198000

基准距离:42mm
测量范围:±4mm
分辨率:16nm
光斑直径:16μm
测量角度:±19°镜面
外径尺寸:40mm

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大角度小光斑型光谱共焦位移传感器 FD40-194000

基准距离:44mm
测量范围:±2mm
分辨率:8nm
光斑直径:16μm
测量角度:±19°镜面
外径尺寸:40mm

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大角度小光斑型光谱共焦位移传感器 FD40-304200

基准距离:22.3mm
测量范围:±2.1mm
分辨率:9nm
光斑直径:11μm
测量角度:±30°镜面
外径尺寸:40mm

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大角度小光斑型光谱共焦位移传感器 FD40-362520

基准距离:15.8mm
测量范围:±1.26mm
分辨率:6nm
光斑直径:10μm
测量角度:±36°镜面
外径尺寸:40mm

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大角度小光斑型光谱共焦位移传感器 FD40-481400

基准距离:8.8mm
测量范围:±0.7mm
分辨率:4nm
光斑直径:8μm
测量角度:±48°镜面
外径尺寸:40mm

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