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采用光谱共焦原理，理论上光的波长可以无限细分,可实现高分辨率测量；反射类型为镜面反射，可实现透明物体的测量，以及更小的测量盲区。
理论上光的波长可以无限细分,可实现高分辨率测量
出射光为微小功率白光，对人眼危害性极小
感测头镜头内部无热源，温漂小，精密测量稳定性能好
内置物理抗干扰装置，不受外界光源影响
光的波长是调频信号,对强度变化干扰不敏感。光纤传输对电磁抗干扰能力强
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超细型 | 紧凑型 | 纳米级高精度型 | ||
| 型号 | FD04-131000 | FD08-181300 ☆ | FD08-290800 | FD15-201400 | FD15-320640 |
| 订货号 | 613100002 | 613100004 | 613100005 | 613100007 | 613100009 |
| 基准距离 | 4mm | 8mm | 4mm | 13.8mm | 6mm |
| 测量范围 | ±0.5mm | ±0.65mm | ±0.4mm | ±0.7mm | ±0.32mm |
| 分辨率 | 2nm | 4nm | 10nm | 4nm | 2nm |
| 线性精度 | ±0.25μm | ±0.32μm | ±0.2μm | ±0.35μm | ±0.16μm |
| 最小测量厚度 | 33μm | 43μm | 27μm | 47μm | 22μm |
| 光斑直径 | 8μm | 17μm | 11μm | 13μm | 3.4μm |
| 测量角度 | ±13°镜面 | ±18°镜面 | ±29°镜面 | ±20°镜面 | ±32°镜面 |
| 外径尺寸 | 3.8mm | 8mm | 8mm | 15mm | 15mm |
| 采样频率 | 2kHz ~ 4kHz | ||||
| 温度特性 | 0.012% F.S/℃ | ||||
| 接口 | USB/以太网 | ||||
| 环境温度 | 4℃ ~ 30℃, 60±20% RH 无凝露 | ||||
| 环境湿度 | 60±10% RH 无凝露 | ||||
| 防护等级 | IP40 | ||||
| 工作电压 | 24V DC | ||||
| 重量 | 8g | 18g | 18g | 26g | 26g |
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小巧经济型 | 通用经济型 |
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| 型号 | FD27-202500 ☆ | FD27-201200 ☆ | FD35-078400 | FD35-184000 ☆ | |
| 订货号 | 613100012 | 613100013 | 613100014 | 613100015 | |
| 基准距离 | 24.2mm | 24.8mm | 110mm | 35mm | |
| 测量范围 | ±1.25mm | ±0.6mm | ±4.2mm | ±2mm | |
| 分辨率 | 6nm | 3nm | 100nm | 20nm | |
| 线性精度 | ±0.62μm | ±0.3μm | ±2.1μm | ±1μm | |
| 最小测量厚度 | 83μm | 42μm | 280μm | 133μm | |
| 光斑直径 | 13μm | 13μm | 20μm | 25μm | |
| 测量角度 | ±20°镜面 | ±20°镜面 | ±7°镜面 | ±18°镜面 | |
| 外径尺寸 | 27mm | 27mm | 35mm | 35mm | |
| 采样频率 | 2kHz ~ 4kHz | ||||
| 温度特性 | 0.012% F.S/℃ | ||||
| 接口 | USB/以太网 | ||||
| 环境温度 | 4℃ ~ 30℃, 60±20% RH 无凝露 | ||||
| 环境湿度 | 60±10% RH 无凝露 | ||||
| 防护等级 | IP40 | ||||
| 工作电压 | 24V DC | ||||
| 重量 | 132g | 132g | 300g | 200g | |
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大角度小光斑型 | ||||
| 型号 | FD40-176000 | FD40-198000 ☆ | FD40-194000 ☆ | FD40-304200 | |
| 订货号 | 613100016 | 613100017 | 613100018 | 613100020 | |
| 基准距离 | 45mm | 42mm | 44mm | 22.3mm | |
| 测量范围 | ±3mm | ±4mm | ±2mm | ±2.1mm | |
| 分辨率 | 12nm | 16nm | 8nm | 9nm | |
| 线性精度 | ±1.5μm | ±2μm | ±1μm | ±1μm | |
| 最小测量厚度 | 200μm | 266μm | 133μm | 143μm | |
| 光斑直径 | 20μm | 16μm | 16μm | 11μm | |
| 测量角度 | ±17°镜面 | ±19°镜面 | ±19°镜面 | ±30°镜面 | |
| 外径尺寸 | 40mm | ||||
| 采样频率 | 2kHz ~ 4kHz | ||||
| 温度特性 | 0.012% F.S/℃ | ||||
| 接口 | USB/以太网 | ||||
| 环境温度 | 4℃ ~ 30℃, 60±20% RH 无凝露 | ||||
| 环境湿度 | 60±10% RH 无凝露 | ||||
| 防护等级 | IP40 | ||||
| 工作电压 | 24V DC | ||||
| 重量 | 182g | 161g | 161g | 201g | |
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大角度小光斑型 | 宽量程长距离型 | |||
| 型号 | FD40-362520 | FD40-481400 ☆ | FD65-1823400 ☆ | FD65-631900 | |
| 订货号 | 613100022 | 613100024 | 613100025 | 613100026 | |
| 基准距离 | 15.8mm | 8.8mm | 70.8mm | 8mm | |
| 测量范围 | ±1.26mm | ±0.7mm | ±11.7mm | ±0.95mm | |
| 分辨率 | 6nm | 4nm | 50nm | 4nm | |
| 线性精度 | ±0.64μm | ±0.35μm | ±5.8μm | ±0.5μm | |
| 最小测量厚度 | 85μm | 47μm | 780μm | 63μm | |
| 光斑直径 | 10μm | 8μm | 14μm | 7μm | |
| 测量角度 | ±36°镜面 | ±48°镜面 | ±18°镜面 | ±63°镜面 | |
| 外径尺寸 | 40mm | ||||
| 采样频率 | 2kHz ~ 4kHz | ||||
| 温度特性 | 0.012% F.S/℃ | ||||
| 接口 | USB/以太网 | ||||
| 环境温度 | 4℃ ~ 30℃, 60±20% RH 无凝露 | ||||
| 环境湿度 | 60±10% RH 无凝露 | ||||
| 防护等级 | IP40 | ||||
| 工作电压 | 24V DC | ||||
| 重量 | 300g | 320g | 620g | 907g | |
